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电子五所牵头起草一项第三代半导体晶体管测试团体标准

2022年7月18日,由工信部电子五所牵头起草的《用于硬开关电路的氮化镓高电子迁移率晶体管动态导通电阻测试方法》团体标准形成委员会草案,该项标准委员会草案按照CASAS标准制定程序,反复斟酌、修改、编制而成。起草组召开了多次正式或非正式的专题研讨会,得到了很多CASAS正式成员的支持。

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T/CASAS 005—202X《用于硬开关电路的氮化镓高电子迁移率晶体管动态导通电阻测试方法》基于GaN功率器件动态导通电阻测试的迫切需求,自2021年9月起,预提案单位工业和信息化部电子第五研究所、佛山市联动科技股份有限公司、东南大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、珠海镓未来科技有限公司等单位讨论确定启动标准制定的准备工作,一致认同基于硬开关电路的GaN HEMT电力电子器件动态电阻测试标准制定的必要性及迫切性;标准编制组于2021年9月~10月分别组织多次线上讨论会,修改完善标准提案所需材料:标准建议表、标准草案。

2021年11月9日,来自工业和信息化部电子第五研究所、佛山市联动科技股份有限公司、东南大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、香港应科院、是德科技有限公司、泰科天润等单位的专家老师在线上(腾讯会议)召开了标准预提案讨论会,工业和信息化部电子第五研究所代表贺致远博士介绍了制定背景、GaN动态导通电阻测试现状、标准编制思路、草案内容以及测试实例。会议中对准备的文件进行了仔细深入的讨论。之后预提案单位形成提交给CSAS秘书处的项目提案材料。

2021年11月9日,根据CASAS管理办法等管理文件,CASAS秘书处开展该项标准立项的程序性工作;于2月11日,经CASAS管理委员会投票通过,T/CASAS 005-202X《用于硬开关电路的氮化镓高电子迁移率晶体管动态导通电阻测试方法》团体标准立项。

2022年3月1日,组建起草组。起草组成员包括:工业和信息化部电子第五研究所、佛山市联动科技股份有限公司、东南大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、英诺赛科(珠海)科技有限公司、佛山市国星光电股份有限公司等。起草组根据前期的意见征求情况,全面修改并完善了标准草案,并于4月初形成了征求意见稿。

2022年4月1日,秘书处面向全体成员单位发送征求意见的通知;2022年6月9日,针对征求意见阶段收集的意见,秘书处组织召开了委员会草案初稿的讨论,并定向邀请相关专家扩大了范围讨论;2022年6月22日,针对动态电阻测试如何判定为稳定,重点邀请了珠海镓未来创始人吴毅锋教授、浙江大学吴新科教授等就持续脉冲、持续双脉冲、周期双脉冲等做了重点交流,认为几个连续双脉冲后,保证DUT栅极关断并漏源高压反偏的工作条件,会持续电子被陷阱捕捉的状态,然后再次连续双脉冲,会有效避免器件自热对测试结果的影响。

2022年7月18日形成委员会草案。

T/CASAS 005—202X《用于硬开关电路的氮化镓高电子迁移率晶体管动态导通电阻测试方法》规定了用于硬开关切换电路的GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)动态导通电阻测试方法。适用于进行GaN HEMT的生产研发、特性表征、量产测试、可靠性评估及应用评估等工作场景。可应用于以下器件:

a)  GaN增强型和耗尽型分立电力电子器件;

b)  GaN集成功率电路;

c)  以上的晶圆级及封装级产品。


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